半導體廠務端訊號監控利器半導體廠務訊號監控利器 符合半導體工廠 SECS-GEM 通訊格式規範 廠務可 隨插 即用,不需煩惱 EQP 端 SECS GEM 規格 不需額外撰 寫 EQP 程式轉換及 AD/IO 軟體程式 All-in-one 節省額外購置成本,不需額外購買模組